정제기 솔루션
Nupure 정제기 Heated Getter Type
제품개요
- Model : OMNI Gas Purifier Systems
- 전원공급이 필요한 Heated Getter Type
- 강력한 성능의 불순물 제거 (N2 불순물 포함)
- 전원공급이 필요한 Heated Getter Type
- 강력한 성능의 불순물 제거 (N2 불순물 포함)
특/장점
강력한 불순물 제어
- 평균 1ppm 수준의 불순물 투입 시 <1ppb 수준으로 불순물 제거가능
- N2 불순물을 포함한 대부분의 불순물 제어
다양한 Gas 에 대응 가능
- Bulk Gas 및 특수가스 어플리케이션 적용
간편한 유지관리
- 직관적이고 손쉬운 유지관리 및 설치
※ 저유량 저압 모델 부터 고압 및 Nm3 수준의 고유량 까지 넓은 범위의 어플리케이션 적용 가능
※ 안전 및 자동화 시스템 구축 가능
※ 안전 및 자동화 시스템 구축 가능
: 자사의 SW 및 시스템 구성 기술과 융합하여, 온도제어 및 안전관리 기능이 포함된 플랫폼 형태의 정제 시스템 구축 가능
정제 가능 Gas 및 불순물
LISTING OF FASES PURIFIED / FILTERED
| Inert Gases | Hy drogen / Hydrides | Acid Gases | Oxygen | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Impunities Removed H₂O,O₂,CO, CO₂, H⁴₂ (N₂, CH₄)² |
Impunities Removed H₂O,O₂, CO₂, CO (N₂)³ |
Impunities Removed H₂O | Impunities Removed H₂O, CO₂ (H₂, CO, CH₄)⁴ |
||||
| Ar | Ar/CH₄ | H₂ | AsH₃ | HBr | O₂ | ||
| He | CH₄ | Ar/H₂ | PH₃ | HCI | Air | ||
| Ne | CF₄ | N₂/H₂ | NH₃ | BCI₃ | N₂O | ||
| Kr | CCI₄ | SiH₄ | B₂H6 | BF₃ | - | ||
| Xe | SF6 | Si₂H6 | H₂Se | CI₂ | - | ||
| N₂ | Freons | D.C.S | GeH₄ | HF | - | ||
1 - Only with purehase of - H model.
2 - Additional impurities removed from He, Ne, Ar, Kr, Xe and N₂only, using heated getter.
3 - Additional impurities removed from Hydrogen only, using heated getter.
4 - Only with purchase of optional hcated catalyst.
2 - Additional impurities removed from He, Ne, Ar, Kr, Xe and N₂only, using heated getter.
3 - Additional impurities removed from Hydrogen only, using heated getter.
4 - Only with purchase of optional hcated catalyst.
샘플 사진
